
Application des tubes en acier inoxydable dans l'industrie des semi-conducteurs Les tubes en acier inoxydable, en particulier les tubes en acier inoxydable sans soudure de haute pureté (316L, 316L EP, BA), sont un matériau de base clé indispensable dans les usines de fabrication de semi-conducteurs (Fab), effectuant les principales...
Application des tubes en acier inoxydable dans l'industrie des semi-conducteurs
Les tubes en acier inoxydable, en particulier les tubes en acier inoxydable sans soudure de haute pureté (316L, 316L EP, BA), sont un matériau de base clé indispensable dans les usines de fabrication de semi-conducteurs (Fabs), effectuant principalement des tâches de transport de gaz ultrapurs, de produits chimiques et d'eau ultrapure.
La production de puces semi-conductrices est extrêmement sensible à la contamination :
1. Pollution par les particules
2. Contamination par les métaux
3. Pollution due à l'humidité
4. Contamination par des matières organiques (COT)
Même des impuretés de l’ordre du nanomètre peuvent entraîner la défaillance de l’ensemble de la tranche.
Le système de transport doit donc avoir :
1.Ultra-haute pureté
2. Émission extrêmement faible d’impuretés
3. Résistance à la corrosion
4. Aucune formation de particules
5. La capacité d'un travail stable à long terme
Et les tubes en acier inoxydable 316L électropolis (EP) sont désormais la solution dominante.
Principaux scénarios d'application :
1.Systèmes d'alimentation en gaz spéciaux
2. Systèmes d’eau ultra pure
3. Systèmes d'approvisionnement en produits chimiques
4. Systèmes de vide
Normes pour tubes en acier inoxydable largement utilisées dans l'industrie des semi-conducteurs
| Nom | Norme |
| Matériel | 316L |
| Norme | ASTMA269 |
| Norme de très haute pureté | SEMI-F20 |
| Traitement de surface | B.A., EP. |
| Rugosité | Ra ≤ 0,25 µm |
| Méthode de soudage | Soudage orbital |
| Classe de propreté | Classe 100 / ISO 5 |